ZAPYTANIE OFERTOWE NA DOSTAWĘ SYSTEMU MONITORINGU I KONTROLI PARAMETRÓW WARSTW ORAZ SYSTEMU KONTROLI I STEROWANIA PARAMETRAMI PROCESU OSADZANIA (SDS OPTIC/4/2026)

Opis przedmiotu zamówienia na dostawę systemu monitoringu i kontroli parametrów warstw oraz systemu kontroli i sterowania parametrami procesu osadzania (SDS OPTIC/4/2026) Przedmiotem zamówienia jest zakup, dostawa oraz integracja z maszyną do wytwarzania cienkich warstw, producenta Kurt J.

Opis przedmiotu zamówienia na dostawę systemu monitoringu i kontroli parametrów warstw oraz systemu kontroli i sterowania parametrami procesu osadzania (SDS OPTIC/4/2026) Przedmiotem zamówienia jest zakup, dostawa oraz integracja z maszyną do wytwarzania cienkich warstw, producenta Kurt J. Lesker Company, model PRO Line PVD 75 stanowiącą zasób Zamawiającego, dwóch nowych systemów: systemu monitoringu i kontroli parametrów warstw oraz systemu kontroli i sterowania parametrami procesu osadzania. Dostarczone systemy muszą być kompatybilne z posiadaną maszyną oraz umożliwiać ich prawidłową integrację i współpracę z jej istniejącymi podzespołami i układami. 1. System monitoringu i kontroli parametrów warstw: System powinien obejmować urządzenie pomiarowe do pomiaru parametrów warstw w trakcie procesu osadzenia, układ sterowania systemem wraz z analizą parametrów osadzonych warstw Parametry: • niejednorodność grubości powłoki na całej powierzchni uchwytu podłoża ≤±2.0% Funkcjonalności: • kontrola grubości warstw w trakcie procesu osadzania • pomiar grubości warstwy z dokładnością nie gorszą niż ±0.3% dla długości fali 1500nm • kontrola widma optycznego warstw w trakcie procesu osadzania - Zakres pomiarowy 400 -2000 nm, Dokładność pomiaru nie gorsza niż 1nm, • rozdzielczość pomiarowa nie gorsza niż 4 nm • możliwość produkcji powłok optycznych o niskim przesunięciu długości fali <1% • wytwarzania warstw optycznych o wysokiej gęstości ze stabilnym współczynnikiem załamania światła; od...

• 38540000 Maszyny i aparatura badawcza i pomiarowa główny
• 42990000 Różne maszyny specjalnego zastosowania

1. DONSERV – Wojciech Kaca Warszawa 1 × · 133 148 zł
2. THERMOLUX- Chłodnictwo Klimatyzacja Marek Jędrzejczak Raszyn 1 × · 534 017 zł
3. Devmatech Sp. z o.o. Warszawa 1 × · 279 210 zł
4. WATERSYSTEM Sp. z o.o. Sp. komandytowa Zakręt 1 × · 229 731 zł
5. Tusnovics Instruments Sp. z o. o. Kraków 1 × · 135 300 zł